Нимгэн хальсны технологийг ойлгох
Нимгэн хальсны технологи нь материалын нимгэн давхаргыг (ихэвчлэн хэдэн нанометрээс хэдэн микрометр хүртэл зузаантай) субстрат дээр буулгах явдал юм. Эдгээр давхаргууд нь метал, хагас дамжуулагч, тусгаарлагч эсвэл бусад материалаар хийгдсэн байж болох бөгөөд функциональ электрон эд ангиудыг бий болгоход ашигладаг. Энэхүү технологи нь эд ангиудын өндөр нарийвчлал, гүйцэтгэлийг хангадаг тул электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд онцгой ач холбогдолтой юм. Нимгэн хальсан хуримтлалыг ихэвчлэн физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) ашиглан хийдэг бөгөөд энэ нь эцсийн бүтээгдэхүүний чанар, гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.
Нимгэн хальсны технологийн хөгжил нь 20-р зууны дунд үеэс материаллаг шинжлэх ухаан, вакуум хуримтлуулах арга техникт ихээхэн ахиц дэвшил гарсан үеэс эхэлсэн. Эхэндээ нимгэн хальсан технологийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд голчлон транзистор, нэгдсэн хэлхээ үйлдвэрлэхэд ашигладаг байсан. Технологи хөгжиж, эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэхийн хэрээр нимгэн хальсны технологийн хэрэглээний хүрээ хурдацтай өргөжсөн. Өнөөдөр энэ нь мэдрэгч үйлдвэрлэх, оптик бүрэх, нарны зай, хатуу диск, зэврэлтээс хамгаалах бүрэх зэрэгт өргөн хэрэглэгддэг. Жишээлбэл, мэдрэгч үйлдвэрлэхэд нимгэн хальсан технологийг ашиглан даралт мэдрэгч, хийн мэдрэгч, температур мэдрэгч зэрэг нь өндөр мэдрэмжтэй, нарийвчлалтай байдаг. Нэмж дурдахад бичил цахилгаан механик систем (MEMS) болон нано технологид нимгэн хальсан технологийн хэрэглээ нэмэгдэж байгаа нь эдгээр салбар дахь инноваци, хөгжилд чухал дэмжлэг болж байна.
Нимгэн хальсны технологийн гол онцлог нь өндөр нарийвчлал, уян хатан байдал, олон функцийг нэгтгэх чадвар юм. Өндөр нарийвчлал нь нимгэн хальсан технологид жижиг хэмжээтэй хязгаарт маш нарийвчлалтай хэмжилт хийх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хүрээлэн буй орчны янз бүрийн нөхцөлд даралтын хэмжилтийг үнэн зөв хийх шаардлагатай даралт мэдрэгч зэрэг төхөөрөмжүүдэд маш чухал юм. Нимгэн хальсны уян хатан чанар нь янз бүрийн субстрат болон хэрэглээний хэрэгцээнд дасан зохицох боломжийг олгодог бөгөөд цахиур, шил, металл, хуванцар гэх мэт өөр өөр субстрат дээр хуримтлагдах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр олон функцийг гүйцэтгэдэг. Нэмж дурдахад нимгэн хальсны технологийг бусад технологи, материалуудтай нэгтгэж, олон функц бүхий нийлмэл төхөөрөмжүүдийг бий болгох боломжтой. Жишээлбэл, нимгэн хальсан технологийг MEMS-тэй хослуулснаар жижиг, хөнгөн жинтэй төдийгүй өндөр мэдрэмжтэй, найдвартай жижиг даралт мэдрэгчийг үйлдвэрлэх боломжтой.
Нимгэн хальсны технологи нь олон функцийг нэг төхөөрөмжид нэгтгэх боломжтой бөгөөд энэ нь нимгэн хальсан давхаргад нэгэн зэрэг мэдрэгч, хэмжилт, өгөгдөл боловсруулах боломжтой бөгөөд энэ нь төхөөрөмжийн дизайн, үйлдвэрлэлийн процессыг хялбаршуулдаг. Энэхүү нэгтгэх чадвар нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулаад зогсохгүй үйлдвэрлэлийн зардал, нарийн төвөгтэй байдлыг бууруулдаг. Даралт мэдрэгчийг хөгжүүлэхэд нимгэн хальсан технологи нь мэдрэгчийн ажиллагааг мэдэгдэхүйц сайжруулж, янз бүрийн нарийн төвөгтэй орчинд тогтвортой ажиллах боломжийг олгодог.
Даралт мэдрэгч дэх нимгэн хальсны технологийг нэгтгэх
Даралт мэдрэгч дэх нимгэн хальсан технологийг нэгтгэх нь гүйцэтгэлийг сайжруулах, хэмжээг багасгах, мэдрэмжийг нэмэгдүүлэх зорилготой. Материалын шинж чанар, давхаргын зузааныг нарийн хянаснаар нимгэн хальсны технологи нь өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчийг хөгжүүлэх боломжтой болгодог. Энэхүү интеграцчилал нь мэдрэгчийн ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулаад зогсохгүй хэд хэдэн үндсэн чиглэлээр мэдэгдэхүйц давуу талыг авчирдаг.
Нэгдүгээрт, нимгэн хальсан технологи нь мэдрэгчийг жижигрүүлэх боломжийг олгодог. Уламжлалт даралт мэдрэгч нь ихэвчлэн хэмжээ, жингийн хязгаарлалттай тулгардаг бол нимгэн хальсан технологи нь гүйцэтгэлийг алдагдуулахгүйгээр жижиг, хөнгөн мэдрэгч үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Энэ нь хязгаарлагдмал зайтай эсвэл эмнэлгийн төхөөрөмж, MEMS гэх мэт хөнгөн шийдэл шаарддаг програмуудад онцгой ач холбогдолтой юм.
Хоёрдугаарт, нимгэн хальсан мэдрэгч нь мэдрэмтгий чанарыг сайжруулахад маш сайн байдаг. Нимгэн хальсны технологи нь даралтын минутын өөрчлөлтийг өндөр нарийвчлалтайгаар илрүүлж чаддаг тул эдгээр мэдрэгчийг нарийвчлалтай хэмжилт хийх шаардлагатай орчинд ашиглах боломжтой болгодог. Жишээлбэл, үйлдвэрлэлийн автоматжуулалт, хүрээлэн буй орчны хяналтад нимгэн хальсан даралт мэдрэгч нь нарийн мэдээлэл өгөх боломжтой бөгөөд ингэснээр системийн ерөнхий үр ашиг, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Нэмж дурдахад нимгэн хальсан технологи нь даралт мэдрэгчийн найдвартай, бат бөх чанарыг сайжруулдаг. Нимгэн хальсан давхаргын өндөр жигд, тогтвортой байдал нь урт хугацааны ашиглалтын тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг. Уламжлалт мэдрэгчтэй харьцуулахад нимгэн хальсан мэдрэгч нь байгаль орчны эрс тэс нөхцөлд ч сайн гүйцэтгэлтэй байж, сансар огторгуй, автомашины үйлдвэрлэл зэрэг салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
Уламжлалт аргуудтай харьцуулахад нимгэн хальсан технологи нь хөнгөн, авсаархан, өндөр мэдрэмжтэй хувилбарыг санал болгодог. Уламжлалт даралт мэдрэгч нь ихэвчлэн хэмжээ, жин, нарийвчлалын бэрхшээлтэй тулгардаг бол нимгэн хальсан технологи нь материалын дээд зэргийн шинж чанар, үйлдвэрлэлийн процессоор эдгээр хязгаарлалтыг даван туулдаг. Нимгэн хальсан мэдрэгч нь зөвхөн хэмжээ, жингийн давуу талтай төдийгүй нарийвчлал, мэдрэмжийн хувьд уламжлалт мэдрэгчээс мэдэгдэхүйц давуу юм. Эдгээр давуу талууд нь нимгэн хальсны технологийг орчин үеийн мэдрэгчийн технологийн хөгжлийн чухал хэсэг болгож байна.
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийн материал
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийн материалыг сонгох нь маш чухал бөгөөд учир нь эдгээр материал нь мэдрэгчийн гүйцэтгэл, найдвартай байдалд шууд нөлөөлдөг.
Нийтлэг материалууд
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчүүдэд ашигладаг нийтлэг материалд алт, цагаан алт, хөнгөн цагаан зэрэг металлууд багтдаг бөгөөд тэдгээр нь маш сайн дамжуулалт, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай. Алт нь өндөр дамжуулагч материалын хувьд дохионы дамжуулалтын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангахын тулд мэдрэгчийн электродын хэсгүүдэд ихэвчлэн ашиглагддаг. Платинум нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэлтэй тул өндөр температурт мэдрэгчүүдэд өргөн хэрэглэгддэг. Хөнгөн жинтэй, сайн дамжуулалттай хөнгөн цагааныг жинг хянах шаардлагатай мэдрэгчтэй хэрэглээнд ихэвчлэн ашигладаг. Нэмж дурдахад цахиур, германий зэрэг хагас дамжуулагч материалыг механик шинж чанар, мэдрэмж сайтай учраас нимгэн хальсан даралт мэдрэгчүүдэд өргөн ашигладаг бөгөөд MEMS-д зайлшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нарийвчилсан материалууд
Технологийн хөгжлийг дагаад нанокомпозит, графен зэрэг дэвшилтэт материалууд нь нимгэн хальсан даралт мэдрэгчүүдэд хэрэглэхэд ихээхэн анхаарал хандуулж байна. Эдгээр материалууд нь маш сайн шинж чанар, мэдрэгчийн ажиллагааг цаашид сайжруулах боломжтой тул өргөнөөр судалж байна. Нанокомпозитууд нь янз бүрийн материалын давуу талыг нэгтгэж, механик хүч чадал, цахилгаан дамжуулах чанарыг санал болгодог бөгөөд энэ нь мэдрэгчийн мэдрэмж, бат бөх чанарыг эрс сайжруулдаг. Нэг атомын давхаргын бүтэц, гайхалтай цахилгаан шинж чанар бүхий графен нь ирээдүйн мэдрэгч материалын хувьд хамгийн тохиромжтой сонголт гэж тооцогддог. Энэ нь зөвхөн хэт өндөр дамжуулалттай төдийгүй маш сайн механик хүч чадал, уян хатан чанарыг харуулдаг бөгөөд энэ нь хэт мэдрэмтгий даралт мэдрэгчийг хөгжүүлэхэд асар их боломжийг харуулж байна.
Материалын шинж чанар
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийн материалыг сонгохдоо тэдгээрийн цахилгаан, механик болон дулааны шинж чанарт үндэслэн янз бүрийн үйл ажиллагааны нөхцөлд оновчтой гүйцэтгэлийг хангадаг. Жишээлбэл, өндөр температурт ашигладаг мэдрэгч нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэлтэй материалыг шаарддаг бол өндөр мэдрэмжтэй хэрэглээнд материалын цахилгаан дамжуулах чанар, механик уян хатан байдлын модулийг харгалзан үздэг. Эдгээр материалын шинж чанарыг иж бүрнээр нь авч үзсэнээр дизайнерууд янз бүрийн нарийн төвөгтэй орчинд мэдрэгчийн найдвартай, нарийвчлалыг баталгаажуулж, хэрэглээний тодорхой хэрэгцээнд хамгийн тохиромжтой материалыг сонгох боломжтой.
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийг боловсруулахад анхаарах зүйлс
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийн дизайныг анхаарч үзэх нь янз бүрийн хэрэглээнд тэдгээрийн гүйцэтгэл, найдвартай байдал, тогтвортой байдлыг хангахад чиглэгддэг.
Бүтцийн дизайн
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийн бүтцийн загвар нь мэдрэмж, нарийвчлалыг хадгалахын зэрэгцээ механик тогтвортой байдал, бат бөх байдлыг хангах ёстой. Энэ нь дизайнеруудаас зөвхөн нимгэн хальсны физик шинж чанараас гадна бодит хэрэглээнд механик ачаалал, хүрээлэн буй орчны даралтыг анхаарч үзэхийг шаарддаг. Мэдрэгчийн бүтцийн загвар нь гаралтын дохиог тогтвортой байлгахын зэрэгцээ янз бүрийн механик ачаалал, хүрээлэн буй орчны өөрчлөлтийг тэсвэрлэх ёстой.
Мэдрэмж
Мэдрэмж нь даралтын мэдрэгчийн дизайны гол хүчин зүйл бөгөөд материалын сонголт, нимгэн хальсны зузаан, үйлдвэрлэлийн технологи зэргээс шалтгаална. Өндөр мэдрэмжтэй мэдрэгч нь даралтын минутын өөрчлөлтийг илрүүлж чаддаг бөгөөд энэ нь нарийн хэмжилт, хяналтын хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм. Материалын сонголт нь мэдрэгчийн мэдрэмжинд шууд нөлөөлдөг; Төрөл бүрийн материалууд нь янз бүрийн хэрэглээний хэрэгцээнд тохирсон өөр өөр механик болон цахилгаан шинж чанартай байдаг. Нимгэн хальсны зузаан нь бас чухал хүчин зүйл юм; хальс нимгэн байх тусмаа мэдрэмж өндөр байх боловч энэ нь механик бат бөх чанарыг бууруулж, мэдрэмж ба хүч чадлын тэнцвэрийг хангах шаардлагатай болдог.
Нарийвчлал ба нарийвчлал
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийн өндөр нарийвчлал, нарийвчлалд хүрэхийн тулд хэмжилтийн найдвартай байдал, давтагдах байдлыг хангахын тулд нарийн дизайн, үйлдвэрлэлийн процессыг шаарддаг. Үүнд нимгэн хальсны зузаан, жигд байдлыг нарийн хянах, тохиромжтой субстратыг сонгох, үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгох зэрэг орно. Үйлдвэрлэлийн явцад гарсан аливаа жижиг хазайлт нь мэдрэгчийн гүйцэтгэлд нөлөөлж, чанарын хатуу хяналт, туршилт хийх шаардлагатай болдог.
Гүйцэтгэлийн шинж чанар Хариу өгөх хугацаа
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгч нь ихэвчлэн хурдан хариу өгөх хугацаатай байдаг бөгөөд энэ нь бодит цагийн даралтыг хянах шаардлагатай динамик хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм. Хурдан хариу өгөх хугацаа нь мэдрэгч нь даралтын өөрчлөлтийг цаг алдалгүй хүлээн авч, үйлдвэрлэлийн автоматжуулалт, эмнэлгийн төхөөрөмж, сансар огторгуй зэрэг салбарын хэрэглээнд бодит цагийн өгөгдлийн дэмжлэг үзүүлэх боломжийг олгодог.
Бат бөх чанар
Тохиромжтой материалыг сонгох, үйлдвэрлэлийн найдвартай техникийг нэвтрүүлэх нь нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийн бат бөх чанарыг нэмэгдүүлж, урт хугацааны найдвартай байдлыг хангана. Мэдрэгч, ялангуяа өндөр температур, өндөр чийгшил, идэмхий орчин гэх мэт байгаль орчны хүнд нөхцөлд ажилладаг мэдрэгчийг удаан хугацаанд тогтвортой ажиллуулахад бат бөх чанар маш чухал юм.
Байгаль орчны тогтвортой байдал
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгч нь температурын хэлбэлзэл, чийгшил, механик стресс зэрэг хүрээлэн буй орчны янз бүрийн нөхцөлд тогтвортой гүйцэтгэлтэй байх ёстой. Энэ нь мэдрэгчийг хүрээлэн буй орчны тогтвортой байдал, өргөн температурын хязгаарт ажиллах чадвартай, чийгшил, механик стрессийн өөрчлөлтөд мэдрэмтгий бус байхыг шаарддаг. Материалын сонголт, сав баглаа боодлын загвар нь мэдрэгчийн байгаль орчны тогтвортой байдлыг хангахад гол үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийн хэрэглээ
Автомашины салбарт нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийг дугуйны даралтын хяналтын системд (TPMS) ашигладаг бөгөөд дугуйны даралтын мэдээллийг бодит цаг хугацаанд гаргаж, аюулгүй байдал, гүйцэтгэлийг сайжруулдаг. Хөдөлгүүрийн удирдлагын системд эдгээр мэдрэгчүүд нь түлш, агаарын даралтыг хянаж, хөдөлгүүрийн оновчтой ажиллагаа, үр ашгийг хангадаг. Нэмж дурдахад, аюулгүйн дэр, тоормосны систем зэрэг автомашины аюулгүй байдлын системүүд нь даралтыг нарийн хэмжиж, цаг тухайд нь идэвхжүүлэхийн тулд нимгэн хальсан даралт мэдрэгч дээр тулгуурладаг.
Анагаах ухааны салбарт нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийг цусны даралт хэмжигчдэд ашигладаг бөгөөд өвчтөний тусламж үйлчилгээ, оношлогоонд зайлшгүй шаардлагатай үнэн зөв, инвазив бус хэмжилтийг хийдэг. Эдгээрийг өвчтөний эмчилгээний үр дүнг сайжруулахын тулд физиологийн тасралтгүй хяналтанд зориулж суулгац мэдрэгчүүдэд ашигладаг. Фитнесс хянагч, эрүүл мэндийн хяналт гэх мэт зүүж болох эмнэлгийн төхөөрөмжүүд эдгээр мэдрэгчийг амин чухал шинж тэмдэг болон биеийн үйл ажиллагааг хянахад ашигладаг.
Сансар огторгуйн салбарт нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийг бүхээгийн даралтыг хянах зорилгоор ашигладаг бөгөөд зорчигчдын тав тух, аюулгүй байдлыг хангах үүднээс бүхээгийн хамгийн оновчтой даралтыг хангадаг. Эдгээрийг эрүүл мэндийн бүтцийн хяналтад ашигладаг бөгөөд болзошгүй асуудлуудыг ноцтой болохоос нь өмнө илрүүлэх чадвартай. Түүнчлэн эдгээр мэдрэгчүүд нь сансрын хөлгийн хүрээлэн буй орчны хяналтын системд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд багийн болон тоног төхөөрөмжийн тогтвортой нөхцлийг хангадаг.
Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд нимгэн хальсан даралтын мэдрэгчийг үйл явцыг нарийн хянахад ашигладаг бөгөөд оновчтой ажиллагаа, үр ашгийг баталгаажуулдаг. Робот системүүд нь мэдрэгчтэй хариу үйлдэл, даралтыг мэдрэхийн тулд эдгээр мэдрэгч дээр тулгуурлаж, гүйцэтгэл, чадавхийг нь сайжруулдаг. Аж үйлдвэрийн аюулгүй байдлын системүүд нь даралтын өөрчлөлтийг илрүүлэх, хариу үйлдэл үзүүлэх, ослоос урьдчилан сэргийлэх, ажилчдын аюулгүй байдлыг хангах зорилгоор нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийг ашигладаг.
Байнга асуудаг асуултууд
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийн гол давуу талууд юу вэ?
Нимгэн хальсан даралтын мэдрэгч нь өндөр мэдрэмж, жижигрүүлэх, сайжруулсан найдвартай байдлыг санал болгодог тул янз бүрийн хэрэглээнд тохиромжтой. Тэдний өндөр мэдрэмж нь даралтын минутын өөрчлөлтийг илрүүлэх боломжийг олгодог, жижигрүүлсэн загвар нь тэдгээрийг орон зайн хязгаарлагдмал хэрэглээнд тохиромжтой болгодог бөгөөд сайжруулсан найдвартай байдал нь хатуу ширүүн орчинд удаан хугацаанд тогтвортой ажиллах боломжийг олгодог.
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгч нь уламжлалт мэдрэгчээс юугаараа ялгаатай вэ?
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгч нь уламжлалт задгай мэдрэгчээс илүү нарийвчлалтай, авсаархан, ерөнхийдөө илүү бат бөх байдаг. Эдгээр нь эрэлт хэрэгцээтэй програмуудад илүү сайн гүйцэтгэлийг санал болгодог, температур, даралтын өргөн хүрээнд ажиллах чадвартай, өндөр мэдрэмжтэй, хариу үйлдэл үзүүлэх хурдтай байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь нимгэн хальс мэдрэгчийг өндөр эрэлт хэрэгцээтэй олон программуудад илүү сайн болгодог.
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчүүдэд ямар материалыг ихэвчлэн ашигладаг вэ?
Нийтлэг материалд алт, цагаан алт зэрэг металлууд, цахиур зэрэг хагас дамжуулагч, графен зэрэг дэвшилтэт материалууд орно. Алт, цагаан алт нь маш сайн дамжуулалт ба зэврэлтээс хамгаалах чадвараараа мэдрэгч электродуудад өргөн хэрэглэгддэг. Цахиурыг механик шинж чанар, электрон шинж чанар сайтай тул хагас дамжуулагч нимгэн хальсанд ихэвчлэн ашигладаг бол графен нь гайхалтай цахилгаан шинж чанар, механик бат бөх чанараараа ирээдүйн мэдрэгчийн материалд хамгийн тохиромжтой сонголт гэж тооцогддог.
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчээс аль салбар хамгийн их ашиг хүртдэг вэ?
Автомашин, анагаах ухаан, сансар судлал, хэрэглээний цахилгаан бараа, үйлдвэрлэлийн автоматжуулалтын салбарууд нимгэн хальсан даралт мэдрэгчээс ихээхэн ашиг тус хүртдэг. Автомашины салбарт эдгээр мэдрэгчийг дугуйны даралтыг хянах, хөдөлгүүрийн удирдлагад ашигладаг; анагаах ухааны салбарт тэдгээрийг цусны даралтыг хянах, суулгах мэдрэгч хийхэд ашигладаг; сансрын салбарт тэдгээрийг кабины даралтыг хянах, бүтцийн эрүүл мэндийг хянах зорилгоор ашигладаг; хэрэглээний электроникийн хувьд тэд ухаалаг төхөөрөмжүүдийн хэрэглэгчийн туршлагыг сайжруулдаг; үйлдвэрлэлийн автоматжуулалтад тэдгээрийг процессын удирдлага, робот техникт ашигладаг.
Нимгэн хальсан даралт мэдрэгчийг үйлдвэрлэхэд ямар техник ашигладаг вэ?
Түгээмэл аргад шүрших, химийн уурын хуримтлал (CVD), физик уурын хуримтлал (PVD), атомын давхаргын хуримтлал (ALD) орно. Эдгээр техникүүд нь нимгэн хальсны зузаан, жигд байдал, найрлагыг нарийн хянаж, мэдрэгчийн ажиллагаа, найдвартай байдлыг хангадаг. Шүрших нь металл нимгэн хальс үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг физик уурын арга юм; Хагас дамжуулагч болон тусгаарлагч материалыг буулгахад CVD болон PVD техникийг ихэвчлэн ашигладаг; ALD нь хэт нимгэн хальс бэлтгэхэд тохиромжтой нимгэн хальсны зузааныг атомын түвшинд хянах боломжтой.
Лавлагаа:
1.Ohring, M. (2001). "Нимгэн хальсны материалын шинжлэх ухаан." Академик хэвлэл.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 6-р сарын 28